Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Электронная книга
- Автор: Геннадий Кузнецов
- Издатель: МИСиС
- Год: 2012
- ISBN:
- Цена: 484 Руб.
Могущество в знании, и книга - основной кладезь ценных сведений. Но не только это... И вот отличный пример того типа литературы, что дает новые сведения из разных областей, в том числе помогает увидеть новые пути к получению информации - "Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций"
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.
Полагаем, что "Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций" даст вам ценные сведения и поможет изменить и лучше узнать многие вещи из определенной области знаний.






