Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Электронная книга
- Автор: М. А. Королев
- Издатель: Лаборатория знаний
- Год: 2012
- ISBN: 978-5-9963-2904-5
- Цена: 220 Руб.
Человек силен знанием, и книга - основной аккумулятор ценных сведений. Но не только это... И вот замечательный образец того рода книги, которая помогает увидеть новые пути к познанию и изменению окружающего мира - "Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1"
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Нет сомнений, что "Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1" окажется полезной и поможет разобраться со своими проблемами и помочь другим.






